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电子束光刻机开展大面积、长时间连续直写作业时，会出现图形位置逐步偏移，同一版图前后书写区域对位偏差变大，局部图形错位，尺寸精度持续下滑的情况。设备开机短时间作业状态正常，随着曝光时长增加，偏移现象逐步加重，重启设备之后偏差会短暂缓解，再次长时间加工故障又会复现。

造成束流漂移有多方面诱因，电子枪部件持续工作产生热积累，磁透镜组件温度发生微小变化，磁场输出稳定性受到干扰，直接改变电子束的束斑位置；外部环境的温度缓慢波动、地面低频振动、周边设备带来的电磁干扰，也会持续对束流偏转系统与载台定位系统产生扰动。载台运动过程中自身发热，会带来微小的热形变，大面积加工时位移累积，进一步放大图形位置偏差。

高压供电模块输出的微小波动，也会造成电子束加速状态不稳定，加剧位置漂移。不同设备的热控能力、磁透镜抗干扰设计、载台温控体系存在差异，发生漂移的程度、耐受连续曝光时长各不相同。作业前预留充足的设备热机稳定时间，降低环境温度起伏，规避电磁干扰源，定期完成束流与偏转系统校准，可以有效缓解该类故障现象。