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扫描电镜成像时，入射电子束轰击样品表层，电子会在材料内部发生散射，形成一定范围的作用区域，电子束穿透深度由加速电压和样品基体材料属性共同决定。穿透深度决定了信号的产生区域，二次电子大多来自样品表层区域，背散射电子则来自更深的基体范围，两类信号会同步被探测系统接收，出现信息混叠现象。

当选用较高加速电压开展观测时，电子穿透深度增加，来自样品下层的背散射信号占比提升，图像里除表面形貌信息之外，还会叠加样品内部组分、晶粒分布相关的信息，表层细微形貌特征容易被掩盖。降低加速电压能够压缩电子作用区域，弱化深层信号，但也会带来信号总量下降、信噪比降低的问题。不同品牌型号扫描电镜的电子枪汇聚能力、物镜磁场设计参数不一样，相同加速电压下电子束的束斑尺寸与散射范围有区别，信号混叠的程度也会有所不同。在多层薄膜样品、表面带有薄覆盖层的样品观测场景中，该效应会显著改变图像呈现效果，增加形貌辨识的难度。