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无掩膜光刻机核心原理、选型逻辑与应用场景

无掩膜光刻机​是微纳加工领域的关键设备,核心特点是无需制作物理掩模版,通过数字图案直接驱动曝光,将设计好的图形转移至光刻胶表面,省去了传统光刻中掩模制作、对准等繁琐环节,兼具灵活性与高效性,广泛应用于科研试制与小批量定制场景。

MORE INFO → 行业动态 2026-04-20