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扫描电镜在观测带有棱角、台阶结构的样品时，样品棱角周边经常出现多余亮边、虚影，伪影会覆盖样品真实边缘细节，干扰对样品轮廓、边角缺陷的判断，容易把伪影误判成为样品本身的结构特征。

该现象的产生和电子信号的收集路径密切相关，电子束打在样品陡峭边角位置，除了垂直方向的二次电子，还会产生大量斜向逸出的二次电子与背散射电子，部分斜向发射的信号会直接被探测器捕获，在图像上生成超出真实边界的亮边虚影。样品台阶落差越大，边角越锐利，产生的伪影效果就越突出。

观测参数选择会进一步放大伪影，过高的加速电压会提升电子穿透能力，激发更多侧向散射信号，加重边缘伪影表现。工作距离的变化同样会影响信号接收范围，不合适的工作距离会让探测器更容易捕捉到斜向散射电子。同时样品摆放倾斜角度，也会改变电子的散射方向，造成伪影强弱发生变化。不同设备探测器安装位置、信号采集逻辑不一样，面对同一样品，边缘伪影的表现形态与强弱也存在区别。